日本TOFCO东富科 ULVIT ULV 臭氧水分解装置 S 型 M 型 L 型各型号参数与选型解析

TOFCO 东富科 ULVIT ULV 臭氧水分解装置（オゾン水分解装置），是半导体湿清洗工艺配套的 UV 式溶解臭氧降解设备，全系分为 S 型、M 型、L 型，并且每个型号均可选择普通纯臭氧水版本，或是耐氢氟酸的 HF 臭氧水版本。

ULVIT ULV S 型（小流量机型）

S 型属于微型机型，处理流量上限 1L/min，适合实验室、小型清洗设备的微量臭氧水处理。采用 AC100V 供电，体积小巧，适合小试验线。

ULVIT ULV M 型（行业主力机型）

M 型是项目使用*多的型号，纯臭氧水版本*处理流量 20L/min，也是样本图中标注的经典机型。 另外还有 HF 氢氟酸版本，*流量 5L/min，接液材质耐氢氟酸腐蚀，用于晶圆 HF + 臭氧清洗后的尾水处理。整机配备灯管故障、漏水、门异常、灯管寿命预警信号，可接入产线 PLC 联锁。

ULVIT ULV L 型（大流量机型）

L 型用于大产线高流量臭氧水处理，纯臭氧水版本*支持 40L/min；HF 耐腐版本*流量 10L/min。采用法兰连接，适合主管道大流量纯水回路。

选型小结

• 小试 / 实验室微量处理 → ULVIT ULV S 型
• 常规晶圆清洗产线（20L/min） → ULVIT ULV M 型（纯水款）
• 含氢氟酸臭氧清洗回路 → ULVIT ULV M 型 HF 版本
• 大流量量产产线 → ULVIT ULV L 型