日本 MIYUKI 美幸辉 BAR-I40 伺服真空蝶阀 半导体腔体压力*调控
阅读： 发布时间：2026-10-09
半导体 PVD、CVD、真空镀膜设备，腔体压力波动直接影响镀膜均匀度与良率。日本 MIYUKI 美幸辉 BAR 系列 BAR-I40 伺服真空蝶阀，是真空闭环压力调节的主力阀件，大量配套在国产真空工艺设备上。
BAR-I40 为 40 口径伺服直驱蝶阀，电机直接驱动阀板，无背隙、低发尘，不存在金属滑动摩擦产生颗粒污染晶圆。阀板可无级连续调节开度，流导精细控制，适配 10⁵Pa~10⁻⁵Pa 宽真空区间。内外密封泄漏率低，外轴泄漏可达 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 级别，满足半导体高洁净制程。
运行启闭噪音极低，微小开度下压力稳定性强，搭配 MGCS 系列压力控制器组成完整闭环系统，实时修正腔体压力，抑制压力震荡。
✅核心优势
1. 伺服直驱无背隙，微小开度压力稳定
2. 低颗粒设计，无金属摩擦，适合晶圆洁净制程
3. 宽真空区间，常压至高真空都可使用
4. 低泄漏，氦检出厂，长期运行密封性稳定
适用场景：真空镀膜、等离子清洗、PVD 溅射、科研真空腔体、热处理真空炉。
⚠️选型避坑
BAR-I40 属于压力调节控制阀，不是单纯开关阀；只做通断隔离，建议选用 G 系列气动闸阀。选型需要配套美幸辉 MGCS 压力控制器，单独阀体无法自动稳压。
我司优势
一、工业自动化类
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二、工业设备 检测仪器类
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三、光源检测类
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四、耗材类
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