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半导体无尘车间检测 加野 Kanomax 3905 大流量粒子计数器选型

阅读: 发布时间:2026-10-10

半导体无尘车间检测 加野 Kanomax 3905 大流量粒子计数器选型

半导体工厂洁净室年度验证、大面积无尘车间验收,小流量粒子计数器单点测试耗时久。Kanomax 加野 3905 大流量尘埃粒子计数器,28.3L/min 采样流量,大幅缩短大面积洁净区检测时间,是晶圆厂、面板厂洁净验证常用设备。


✅ Kanomax 3905 核心参数

- 型号:3905 尘埃粒子计数器

- 采样流量:28.3L/min(1CFM)

- 粒径:0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm 六通道同时测量

- 显示屏:6.4 英寸彩色触摸屏,自带内置打印机

- 存储:10000 组数据,支持 U 盘扩展存储

- 标准:ISO21501-4、ISO14644、新版 GMP 合规

- 可选:外接温湿度、压差、风速传感器

📌 核心亮点

1. 28.3L/min 大流量采样,大面积洁净室测试效率提升 10 倍

大流量可以快速采集足够粒子样本,缩短单点采样时长,适合大面积半导体洁净车间批量布点验收。

2. 自带内置打印机,现场即时出纸质报告

现场测试完成直接打印检测单据,洁净室现场验收、客户现场审核方便。

3. 6 通道粒径同步检测,覆盖半导体车间常规检测需求

从 0.3μm 微小颗粒到 10μm 大颗粒,一次性采集,快速判定洁净等级。

4. 支持多环境参数同步采集

选配传感器可同步测试风速、温湿度、压差,洁净室综合环境评估。

🧪 应用场景

晶圆制造无尘车间、显示面板洁净厂房、大面积锂电洁净车间、洁净室第三方检测机构、洁净室年度再验证。