别再乱选型！日本 TOHO 东朋 HL9900 霍尔测试仪核心参数一次性讲透
阅读： 发布时间：2026-10-10
日本 TOHO 东朋（東朋テクノロジー），部名古屋，半导体材料表征领域老牌厂商，HL9900 是行业经典台式霍尔测试系统，采用模块化架构，后期可升级高阻模块、低温模块，高校实验室、化合物半导体、透明导电薄膜企业大量在用。
✅ HL9900 核心技术参数
1. 可测材料参数
电阻率、方块电阻、霍尔系数、载流子迁移率、载流子浓度、导电类型（N 型 / P 型）、磁阻等关键电学参数
2. 测试方法
支持范德堡 Van der Pauw、霍尔棒 Hall Bar、桥式测试三种模式，满足 ASTM F-76 国际测试标准，测试数据认可度高，论文、来料检测均可采信
3. 方块电阻量程
- 标准主机：10⁻⁴ Ω/sq ~ 10⁶ Ω/sq
- 选配高阻缓冲放大器模块：可扩展至 10¹¹ Ω/sq，高阻薄膜、氧化物材料也能测
4. 载流子浓度：10⁶ ~ 10²¹ cm⁻³
5. 载流子迁移率：1 ~ 10⁷ cm²/V・s
6. 恒流源规格
电流输出范围：100nA～19.9mA，支持自动电流调节，自动限制电场，避免样品发热击穿，保护脆弱薄膜样品
7. 电压测量
测量电压范围 ±6V；输入阻抗 10¹⁰Ω，单通道输入漏电流典型值 20nA，弱信号采集稳定
8. 磁场系统
永磁体 0.5T（5000 高斯），磁场精度标称 ±1%；25mm 直径样品区域磁场均匀度 ±1%；磁极间距 33.4mm；长期磁场稳定性好，十年磁场漂移仅 0.1%，无需频繁校准
9. 样品尺寸
样品直径 25mm，四探针微调样品台，探针直接形成欧姆接触，无需焊线、制作电极 PCB，样品制备省时，样品更换效率高
10. 测试信号模式
AC (213Hz) / DC 双模式；AC 模式抑制热电动势、漂移噪声，信噪比高；DC 模式用于部分特殊材料测试场景
11. 可选拓展单元
- 高阻抗放大器模块：高阻材料测量
- 低温测试单元：支持 77K 低温霍尔测试，低温材料载流子特性研究
📌 设备核心优势
1. 模块化设计：基础主机起步，后续按需增加高阻、低温配件，不用整机更换，降低投入成本。
2. 抗干扰强：AC 交流检测避免热电漂移，实验室环境下重复性好。
3. 操作简单：配套*上位机软件，一键自动测试，自动计算、导出测试报告，不用手动演算霍尔公式。
4. 台式紧凑结构，占用实验室台面空间小，安装调试便捷。
🧪 典型应用行业 & 材料
硅基半导体、化合物半导体（GaN、GaAs 等）、ITO/IZO 透明导电薄膜、氧化物半导体、光伏薄膜材料、科研所新材料研发、企业来料电学性能抽检。
💡选型避坑提醒
1. 测高阻薄膜务确认是否选配高阻抗缓冲模块，标准主机无法测量高于 1MΩ/sq 样品；
2. 低温测试需求，需要单独搭配低温单元，常温标准版不含低温腔；
3. 样品尺寸大于 25mm，需要提前评估样品适配性。
