如何选择适合的ULVAC爱发科干泵分子泵低温泵氦检仪
阅读： 发布时间：2026-09-08
半导体产线真空系统由前级排气、高真空获取、气密性检测几部分组成，干泵、分子泵、低温泵、氦质谱检漏仪各自承担不同职能，不存在一台设备覆盖全部工况的情况。很多项目故障，并不是设备质量问题，而是泵型和工艺介质、真空等级、运行工况不匹配。
日本 ULVAC 爱发科拥有完整的真空产品线，本文按照选型思考顺序，分别拆解四类设备选型判断要点，覆盖刻蚀、CVD、PVD 镀膜、研发中试、量产量产等场景，为设备采购、改造升级提供选型参考。
一、干式真空泵：前级排气，选型优先看气体介质
干泵承担腔体从大气抽到中真空的预抽、主排气工作，选型*判断要素不是抽速，而是被抽气体成分：有无卤素、氯化氢、氟化物、粉尘副产物，其次区分是 7×24 小时量产还是间歇研发工况。
1.LS 系列水冷螺杆干泵
适配：洁净工艺，普通 CVD、PVD 腔体、Load‑Lock 负载锁，无强腐蚀气体、少量粉尘，硅基 8‑12 英寸量产产线。
选型关键点：优先确认冷却水条件；ECO‑SHOCK 节能版本适合长时间连续运行；不可以用于含大量卤素、氯化氢尾气，腐蚀环境下会快速损坏泵腔转子。
2.MS/VS 防腐螺杆干泵
适配：干法刻蚀、MOCVD、SiC/GaN 第三代半导体，处理 HCl、氟化物等腐蚀性气体，伴随粉末副产物。
选型关键点：工艺只要存在卤素腐蚀介质，优先选用防腐机型；配套前置粉尘捕集过滤器，降低粉尘卡泵风险；是化合物半导体产线的硬性选型要求。
3.LR 多级罗茨干泵
适配：Load‑Lock 负载锁腔体预抽、PVD 腔体粗抽、作为分子泵前级泵。
选型关键点：多用于传输腔体，不适合大量粉尘、强腐蚀尾气，体积紧凑，适合间歇抽气。
4.CR 风冷螺杆干泵
适配：研发中试线、设备集成工位，现场无冷却水供给。
选型关键点：风冷无需水冷系统，安装便捷，更适合间歇运行；不建议作为大产能刻蚀、CVD 主排气泵。
5.DA/DTC 隔膜干泵
适配：小型仪器、检测工装、药液脱气。
选型关键点：DTC 型号 PTFE 气路耐有机溶剂腐蚀，仅中小抽速，不用于工艺腔体大流量排气。
日本 ULVAC 爱发科拥有完整的真空产品线，本文按照选型思考顺序，分别拆解四类设备选型判断要点，覆盖刻蚀、CVD、PVD 镀膜、研发中试、量产量产等场景，为设备采购、改造升级提供选型参考。
一、干式真空泵：前级排气，选型优先看气体介质
干泵承担腔体从大气抽到中真空的预抽、主排气工作，选型*判断要素不是抽速，而是被抽气体成分：有无卤素、氯化氢、氟化物、粉尘副产物，其次区分是 7×24 小时量产还是间歇研发工况。
1.LS 系列水冷螺杆干泵
适配：洁净工艺，普通 CVD、PVD 腔体、Load‑Lock 负载锁，无强腐蚀气体、少量粉尘，硅基 8‑12 英寸量产产线。
选型关键点：优先确认冷却水条件；ECO‑SHOCK 节能版本适合长时间连续运行；不可以用于含大量卤素、氯化氢尾气，腐蚀环境下会快速损坏泵腔转子。
2.MS/VS 防腐螺杆干泵
适配：干法刻蚀、MOCVD、SiC/GaN 第三代半导体，处理 HCl、氟化物等腐蚀性气体，伴随粉末副产物。
选型关键点：工艺只要存在卤素腐蚀介质，优先选用防腐机型；配套前置粉尘捕集过滤器，降低粉尘卡泵风险；是化合物半导体产线的硬性选型要求。
3.LR 多级罗茨干泵
适配：Load‑Lock 负载锁腔体预抽、PVD 腔体粗抽、作为分子泵前级泵。
选型关键点：多用于传输腔体，不适合大量粉尘、强腐蚀尾气，体积紧凑，适合间歇抽气。
4.CR 风冷螺杆干泵
适配：研发中试线、设备集成工位，现场无冷却水供给。
选型关键点：风冷无需水冷系统，安装便捷，更适合间歇运行；不建议作为大产能刻蚀、CVD 主排气泵。
5.DA/DTC 隔膜干泵
适配：小型仪器、检测工装、药液脱气。
选型关键点：DTC 型号 PTFE 气路耐有机溶剂腐蚀，仅中小抽速，不用于工艺腔体大流量排气。
