SIBATA 柴田科学 半导体 & 实验室进口采样监测设备*
阅读： 发布时间：2026-09-08
> 创立于 1921 年的日本 SIBATA 柴田科学，百年理化仪器老牌厂商，从精密玻璃器具起家，深耕环境采样、粉尘监测、实验室理化设备领域，广泛服务半导体洁净室、化工制药、第三方检测、科研实验室场景。
在半导体晶圆制造、精密元器件生产过程中，洁净室微粉尘、工艺废气、车间有害气体，直接影响产品良率。柴田科学依托日系精密流体控制技术，为产线环境管控、实验室样品前处理提供稳定硬件方案。
核心产品阵营
✨MP‑Σ 系列空气采样泵
MP‑Σ30NⅡ、MP‑Σ500NⅡ、MP‑W5P，双隔膜无油结构，流量精度控制在 ±5% 以内，脉动低，支持瞬时、累计流量显示，交直流双供电，自带多模式定时采样功能。
PTFE、EPDM 耐蚀配件可选，适配半导体腐蚀性工艺尾气、VOC、气溶胶现场采样；机身小巧轻便，可手持现场溯源，也可固定点位长期采集数据，主机可存储历史采样记录，支持软件导出数据，职业卫生、洁净室采样高频选用。
✨AP‑632 系列粉尘检测仪
TL/TM/TH 多灵敏度档位可选，TH 高灵敏版本面向半导体净车间。搭载鞘气吹扫光路，阻挡粉尘污染光学镜片，大幅降低维护频次；恒流采样搭配自动基线校正，长时间运行数据无漂移。
支持 0‑10mV 模拟量、脉冲信号输出，可直接对接中控 PLC 系统，洁净室粉尘在线监测、标预警，导轨抽拉式机芯，维护拆装无需整机拆解。
✨实验室理化设备
DM‑100S 数显真空压力表，用于真空系统校验；磁力搅拌器、化学合成浓缩蒸馏装置，覆盖样品浓缩、小试合成；无油隔膜泵、真空吸液设备，无油雾污染，适配洁净实验室前处理工序，原厂配套滤膜、导电采样软管等耗材齐全，保障检测数据一致性。
行业落地场景
✅半导体行业：8/12 寸晶圆洁净室环境监测、工艺尾气采样、真空泵排气检测、微量粉尘溯源，适配第三代半导体产线环境管控
✅制药化工：GMP 车间粉尘检测、合成实验、样品前处理、车间职业卫生有害气体采样
✅第三方检测机构：大气、车间粉尘、VOC 合规采样监测
✅科研校实验室：理化实验、样品浓缩、环境科研检测
在半导体晶圆制造、精密元器件生产过程中，洁净室微粉尘、工艺废气、车间有害气体，直接影响产品良率。柴田科学依托日系精密流体控制技术，为产线环境管控、实验室样品前处理提供稳定硬件方案。
核心产品阵营
✨MP‑Σ 系列空气采样泵
MP‑Σ30NⅡ、MP‑Σ500NⅡ、MP‑W5P，双隔膜无油结构，流量精度控制在 ±5% 以内，脉动低，支持瞬时、累计流量显示，交直流双供电，自带多模式定时采样功能。
PTFE、EPDM 耐蚀配件可选，适配半导体腐蚀性工艺尾气、VOC、气溶胶现场采样；机身小巧轻便，可手持现场溯源，也可固定点位长期采集数据，主机可存储历史采样记录，支持软件导出数据，职业卫生、洁净室采样高频选用。
✨AP‑632 系列粉尘检测仪
TL/TM/TH 多灵敏度档位可选，TH 高灵敏版本面向半导体净车间。搭载鞘气吹扫光路，阻挡粉尘污染光学镜片，大幅降低维护频次；恒流采样搭配自动基线校正，长时间运行数据无漂移。
支持 0‑10mV 模拟量、脉冲信号输出，可直接对接中控 PLC 系统，洁净室粉尘在线监测、标预警，导轨抽拉式机芯，维护拆装无需整机拆解。
✨实验室理化设备
DM‑100S 数显真空压力表，用于真空系统校验；磁力搅拌器、化学合成浓缩蒸馏装置，覆盖样品浓缩、小试合成；无油隔膜泵、真空吸液设备，无油雾污染，适配洁净实验室前处理工序，原厂配套滤膜、导电采样软管等耗材齐全，保障检测数据一致性。
行业落地场景
✅半导体行业：8/12 寸晶圆洁净室环境监测、工艺尾气采样、真空泵排气检测、微量粉尘溯源，适配第三代半导体产线环境管控
✅制药化工：GMP 车间粉尘检测、合成实验、样品前处理、车间职业卫生有害气体采样
✅第三方检测机构：大气、车间粉尘、VOC 合规采样监测
✅科研校实验室：理化实验、样品浓缩、环境科研检测
